1.熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)起源于美國，恒功率式與恒溫差式分別自上世紀(jì)60年代、70年代開始出現(xiàn)，

2.一個發(fā)展路線起源于熱式流量開關(guān)（Thermal flow switches），熱式流量開關(guān)用于檢測油田上油水混合的輸油管線中是否有混合物的流動。FCI公司（Fluid Components International）的創(chuàng)始人麥克-馬克奎恩（Mac McQueen）和鮑博-迪恩（Bob Deane），在1964年，美國一家石油公司的現(xiàn)場需要判斷冬季的輸油管線中的油水混合物是流動還是凍結(jié)著，麥克-馬克奎恩（Mac McQueen）和鮑博-迪恩（BobDeane）開發(fā)了熱式流量開關(guān)以解決上述問題，同時他們的熱式流量開關(guān)根據(jù)用戶的需要可以提供一個精度不高的百分比的流量指示輸出，到了1981年FCI公司正式推出基于恒功率原理的熱式流量開關(guān)技術(shù)，與現(xiàn)代成熟的電子技術(shù)結(jié)合的熱式流量計(jì)。

3.另一個發(fā)展路線是將式風(fēng)速計(jì)技術(shù)應(yīng)用于工業(yè)環(huán)境下（在此之前式風(fēng)速計(jì)于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境使用），約翰-歐林博士以及杰瑞- Kurz博士（Dr. John Olin and Dr. Jerry Kurz）, Sierra Instruments的創(chuàng)始人.在麥克-馬克奎恩（Mac McQueen）和鮑博-迪恩（Bob Deane）開發(fā)了熱式流量開關(guān)的同一時期，John Olin and Jerry Kurz在斯坦福大學(xué)的一個研究項(xiàng)目的同事，在實(shí)驗(yàn)室中采用Thermo-Systems Inc. （TSI）的式風(fēng)速計(jì)（hot-wire anemometers）用于實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目中。 
        那時，TSI是世界上為數(shù)不多的為實(shí)驗(yàn)研究領(lǐng)域生產(chǎn)式風(fēng)速計(jì)（hot-wire anemometers）的公司之一。式風(fēng)速計(jì)作為熱式流量計(jì)的一種，zui早起源于1900s，用于測量流體剖面的流速，有響應(yīng)速度快的優(yōu)點(diǎn)，傳感器小、易碎，不適合在工業(yè)場合應(yīng)用。幾年后，約翰-歐林博士以及杰瑞- Kurz博士（Dr. John Olin and Dr. Jerry Kurz）從斯坦福大學(xué)畢業(yè)，加入在明尼蘇達(dá)州的TSI公司工作，從1968年到70年代早期，兩人一直在TSI開發(fā)部門工作，主要研究HAVC領(lǐng)域的風(fēng)速儀。后來，他們離開了TSI公司，開始在一起研究自己的熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)，他們清楚式風(fēng)速計(jì)不適合在工業(yè)場合應(yīng)用。早期的產(chǎn)品是空氣風(fēng)速儀和風(fēng)速傳感器，以及空氣取樣產(chǎn)品，這就是Sierra Instruments的初期產(chǎn)品基礎(chǔ)。Sierra Instruments在1973年成立于明尼蘇達(dá)州。1975年Sierra Instruments自明尼蘇達(dá)州搬到加利福尼亞州，合作了幾年后，1977年兩人分家，約翰-歐林博士保留Sierra Instruments以及空氣取樣產(chǎn)品，杰瑞- Kurz博士成立了Kurz Instrument，并得到了原公司的空氣風(fēng)速儀和風(fēng)速傳感器產(chǎn)品。

4.到了上世紀(jì)90年代的早期，美國國家*采用CEMS測量污染物的大氣排放量（SOX、NOX等），傳統(tǒng)的單點(diǎn)流量測量不能滿足要求，熱式有不易堵塞的特點(diǎn)，出現(xiàn)了多點(diǎn)熱式流量測量系統(tǒng)（Multipoint thermal flowmeters），有些系統(tǒng)達(dá)到了16個測量點(diǎn)。